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帶你了解超聲波節能光刻膠高精度噴塗設備的知識
來源:juhua636636.cn 發布時間:2019年08月09日

  光緻抗蝕劑,也稱為光緻抗蝕劑,是由光敏樹脂,敏化劑和溶劑組成的光敏混合液體。它廣泛用于集成電路,太陽能光伏和MEMS。

  高度均勻的光緻抗蝕劑膜主要通過旋塗處理。通過旋塗工藝獲得的光緻抗蝕劑膜的最終厚度由諸如光緻抗蝕劑的粘度,表面張力和轉盤的旋轉角速度等因素确定。在旋塗期間通過離心力除去大部分光緻抗蝕劑。晶片表面造成浪費,因此光刻膠的利用率極低。

帶你了解超聲波節能光刻膠高精度噴塗設備的知識

 

  對于光刻膠塗層工藝的浪費(旋塗工藝)和環境污染問題,奇飛超聲波在自主研發的120KHZ超聲霧化塗裝設備的基礎上,對光刻膠塗裝工藝進行了改進。

  超聲霧化塗裝設備功耗低(10W),産生的霧化液滴平均粒徑小,均勻性好。将光緻抗蝕劑直接塗裝在晶片表面上。因此,它被認為是綠色光緻抗蝕劑膜制備方法。然而,常規超聲霧化塗裝設備表面霧化液滴的初始速度很小,容易受到周圍空氣的幹擾,這對于獲得高質量的光刻膠膜是不利的,并且難以實現理想的塗裝效果。為此,Chifei Ultrasonic在超聲霧化塗裝設備中增加了載氣模塊,增加了霧化液滴的功率,控制了霧化噴霧的方向和範圍,實現了光刻膠膜在晶圓表面的定向塗裝。基材。

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